真空チャンバ・気密チャンバ

「大型精密製缶/切削 スピード加工センター」は、製缶・組立だけでなく、組立後の機械加工（二次加工）、表面処理・熱処理、そしてリークテスト・測定まで一貫対応が可能です。
そのため、購買・調達担当者が悩みがちな、複数の外注先の納期管理や横持ち費用等、調達における諸問題を解決いたします。後工程まで考慮した納期短縮・コストダウンのご提案も可能です。

当社は、創業以来80年以上にわたり、蒸着装置向けをはじめとする真空チャンバ・気密チャンバを累計数千台製作してきました。いずれも納品前にヘリウムリークディテクタにてリークテストを実施しており、これまでリークしたものは一つもございません。

真空チャンバ・気密チャンバの用途は、エッチングやスパッタリング等の半導体製造ライン、材料テスト、宇宙環境試験というように多岐に渡ります。その用途や設置環境に応じて、材質・サイズ・容積・形状・板厚はもちろん、シールや接合部に必要な精度、ポートやハッチの位置・寸法、周辺装置との取り合い等、様々な要素を検討する必要があります。
チャンバの実績が豊富な当社にご相談いただければ、開発・設計段階からのご提案が可能です。