アルミ 大型真空チャンバ

関連するよくある質問

• 分割式のチャンバの製作実績はありますか？

  多数ございます。分割式にするとリークの可能性が高くなってしまうため、溶接・組付け時に注意が必要となります。チャンバ単体でのリークテストから、組立状態でのリークテストまで柔軟に対応させていただきます。

• チャンバの耐圧検査は行っていますか？

  ガス等の気体による圧力検査と、液体による圧力検査の両方に対応しております。製品の構造や要求仕様によって相談の上、実施させていただきます。詳細はお問い合わせください。

• チャンバについて、削り出しや溶接物、いずれも対応可能ですか？

  はい、アルミ・鉄・ステンレスの削り出し、溶接物いずれにも対応しております。

• チャンバの応用事例を教えてください。

  当社の納品実績としては、半導体・FPD装置向けが多いですが、その他、宇宙環境試験用途のスペースチャンバ、太陽電池の製造ラインにおいて使用されるPVD向けチャンバ等、様々な実績がございます。詳細はお問い合わせください。

• チャンバの製作可能なサイズを教えてください。

  形状・構造にもよるので一概には言えませんが、長さ6,000×幅3,200×高さ1,500mmのチャンバを製作した実績がございます。

• ステンレスの真空チャンバに電解研磨等の表面処理を施していただきたいのですが、対応可能ですか？

  はい、協力企業様と連携して対応させていただきます。

• 真空チャンバ・気密チャンバのリーク試験はどのようにしていますか？

  ヘリウムリークディテクタを使用し、リークテストを実施しております。水没漏洩検査、水張漏洩検査、ガス圧漏洩検査等にも対応可能です。試験・検査方法について、お客様と打合せのうえで、柔軟に対応させていただきます。