特注製作事例

半導体検査装置向けXYステージ

製品種類

ステージ

業界

半導体

材質

A5052

サイズ

2500×1500×500

重量

0.8ton

精度

加工工程

アルミ展伸材削り出し
機械加工
表面処理
組立

こちらは、半導体製造装置の組立ラインで使用される検査装置のXYステージです。

アルミ展伸材の削り出しから、機械加工・表面処理・組立まで実施いたしました。XY軸の駆動精度を0.01mmまで調整しております。

「大型精密製缶/切削スピード加工センター」は、本製品のような半導体製造装置向けのフレーム・ステージ・架台など大物機械加工品の製作実績が多数ございますので、見積依頼や技術相談をご検討の際は、お気軽にご連絡ください。

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電話受付: 8:00〜17:00

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